平成6年度科学研究費補助金実績報告書


研究機関名  長岡技術科学大学
研究種目名  奨励研究A
課題番号  06750751
研究課題名  イオンビーム照射を導入した化学蒸着法による立方晶窒化ホウ素単結晶粒の大型化
研究組織
 研究代表者 斎藤秀俊(長岡技術科学大学工学部講師)
   研究分担者 なし

研究実績の概要
 
 

結果の公表
題目  「プラズマCVD法による硬質アモルファス窒化ホウ素膜の作製」
著者   斎藤秀俊、佐藤淳、石黒孝、鎌田喜一郎、一ノ瀬幸雄
雑誌名  日本金属学会誌 第60巻 第5号 (1996)476ー481

 

c齋藤秀俊